(代号:SPA 类似于日本产品PWA)
淄博金纪元研磨材有限公司自主研发生产的精密研磨磨料微粉(SPA),填补了国内在高档磨料上的空白,改变了长期依赖进口的局面,客户一致认为本产品完全可以替代国外进口的同类型产品。
产品特征:SPA是精选优质的氧化铝原料,经特殊工艺加工而成,该产品硬度高,韧性好,颗粒形状独特(圆片状),颗粒分布均匀。在研磨过程中可有效的降低被加工晶片的划伤率,产品合格率高达99%以上,表面光洁效果好、损伤层比金刚砂磨料小4-5微米,与国内同类产品相比,研磨速率能提高1.5-2倍,材料节约60%;产品价格比国外同类产品降低1/2,具有明显的性价比。
是一种非常理想的精密研磨抛光材料。
适用范围:SPA产品主要适应于大直径晶圆研磨研磨抛光硅片、集成电路工艺减薄的专用加工材料化合物半导体基片,硬质玻璃、光学镜头及其它光学玻璃制品,也可对精密陶瓷、特殊金属表面进行精密研磨加工,还可用作特种涂料和等离子喷涂的填充料。
粒度规格:SPA3-SPA50